一、擴(kuò)散硅壓力變送器結(jié)構(gòu)組成：
 
1,、由于傳感器的輸出是非標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào),，在實(shí)際應(yīng)用中為了使傳感器具有通用性以及便于信號(hào)的傳送和記錄，就將傳感器與帶有標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸入電路配套使用,，使之輸出符合標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào),。此時(shí)輸出標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)的傳感器就稱為變送器 。
 
2,、簡(jiǎn)而言之,，變送器是從傳感器逐步發(fā)展而來(lái)的。本文研究的擴(kuò)散硅壓力變送器主要由 MEMS 傳感器、測(cè)量膜盒和接口與處理電路（智能電路板）三大部分組成,。
 
3,、壓力傳感器與二極管溫度傳感器一起封裝在測(cè)量膜盒頂部，再由兩塊密封法蘭夾住膜盒本體構(gòu)成了變送器的測(cè)量部,，負(fù)責(zé)把工作現(xiàn)場(chǎng)待測(cè)的壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào),。另有電子線路板和液晶顯示表頭及接線端子構(gòu)成顯示部，負(fù)責(zé)把傳感器輸出的電壓信號(hào)通過(guò)放大,、二線制信號(hào)處理變換4~20mA后,，輸出標(biāo)準(zhǔn)電流信號(hào) 。

二,、擴(kuò)散硅壓力變送器技術(shù)特點(diǎn)：

1,、靈敏度高

擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50~80倍，它的滿量程信號(hào)輸出在80-100mv左右,。對(duì)接囗電路適配性好,，應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵(lì)電壓低,，輸出信號(hào)大,，且無(wú)機(jī)械動(dòng)件損耗，因而分辯率極高,。

2,、可靠性高

擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級(jí)，膜片zui大位移量在來(lái)微米數(shù)量級(jí),，且無(wú)機(jī)械磨損,，無(wú)疲勞，無(wú)老化,。平均無(wú)故障時(shí)間長(zhǎng),，性能穩(wěn)定，可靠性高,。

3,、精度高

擴(kuò)散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測(cè)三位一體,，無(wú)機(jī)械動(dòng)件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),，所以不重復(fù)性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好萊塢,，形變小,，因而傳感器的線性也非常好。因此綜合表態(tài)精度很高,。

4,、頻響高

由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高,，一般在50KC。制造過(guò)程采用了集成工藝,，膜片的有效面積可以很小,，配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計(jì)，使傳感器頻率響應(yīng)很高,，使用帶寬可達(dá)零頻至100千赫茲,。

三、使用擴(kuò)散硅壓力變送器時(shí)的注意事項(xiàng)：
 
1,、溫度補(bǔ)償,，擴(kuò)散硅式壓力傳感器是半導(dǎo)體，半導(dǎo)體具有很強(qiáng)的溫度特性,，沒(méi)有溫度補(bǔ)償,，測(cè)量誤差可能會(huì)比較大,。
 
2,、擴(kuò)散硅式壓力傳感器傳感膜片只有幾十絲米厚，千萬(wàn)不能觸碰,。
 
3,、供電電壓要穩(wěn)定，傳感器內(nèi)部實(shí)際就是一個(gè)電橋,，供電電壓波動(dòng)會(huì)引起橋路輸出變化,，影響測(cè)量精度。
 
4,、要在額定電壓內(nèi)使用,，過(guò)壓會(huì)導(dǎo)致傳感器損壞。
 
5,、輸出端不要短路,。